[发明专利]微机械压电X轴陀螺仪

摘要

本公开提供了用于制作和使用陀螺仪的系统、方法和装置，包括编码在计算机存储介质上的计算机程序。此类陀螺仪可包括感测框架、部署在该感测框架外部的检验质量块、一对锚以及多个驱动梁。这多个驱动梁可部署在该感测框架的相对侧上并在这对锚之间。这些驱动梁可将该感测框架连接至该检验质量块。这些驱动梁可配置成使该检验质量块基本上在这些驱动梁的第一平面内扭振。该感测框架可以与该检验质量块的驱动运动基本上解耦。此类器件可被包括在移动设备中，诸如移动显示设备。

主权项

一种陀螺仪，包括：感测框架；检验质量块，其部署在所述感测框架的外部；一对锚；多个驱动梁，其部署在所述感测框架的相对侧上并在这对锚之间，所述驱动梁将所述感测框架连接至所述检验质量块，每个所述驱动梁包括压电层且配置成使所述检验质量块进行驱动运动，所述驱动运动是基本上在所述驱动梁的第一平面内的扭振；以及多个感测梁，其将所述感测框架连接至这对锚，每个所述感测梁包括压电感测电极层，其配置成响应于向所述陀螺仪施加的角旋转而产生压电电荷，其中所述感测框架是与所述检验质量块的所述驱动运动基本上解耦的。