[发明专利]微机械压电X轴陀螺仪

权利要求书

1.一种陀螺仪，包括：

感测框架；

检验质量块，其部署在所述感测框架的外部；

一对锚；

多个驱动梁，其部署在所述感测框架的相对侧上并在这对锚之间，所述驱动梁将所述感测框架连接至所述检验质量块，每个所述驱动梁包括压电层且配置成使所述检验质量块进行驱动运动，所述驱动运动是基本上在所述驱动梁的第一平面内的扭振；以及

多个感测梁，其将所述感测框架连接至这对锚，每个所述感测梁包括压电感测电极层，其配置成响应于向所述陀螺仪施加的角旋转而产生压电电荷，

其中所述感测框架是与所述检验质量块的所述驱动运动基本上解耦的。

2.如权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于，当所述陀螺仪正在感测模式中操作时，响应于所述施加的角旋转，所述检验质量块和所述感测框架在所述第一平面外一起扭振。

3.如权利要求1或权利要求2所述的陀螺仪，其特征在于，所述感测梁是楔形感测梁。

4.如权利要求1至3中任一项所述的陀螺仪，其特征在于，进一步包括链接梁，所述链接梁配置成当所述陀螺仪正在感测模式中操作时增大检验质量块感测运动向所述感测框架的传递。

5.如权利要求1至4中任一项所述的陀螺仪，其特征在于，所述感测梁由围绕所述感测框架的绝大部分延伸的间隙来与所述检验质量块分离开。

6.如权利要求1至5中任一项所述的陀螺仪，其特征在于，每个所述感测梁具有连接至锚的第一端和连接至所述感测框架的一部分的第二端。

7.如权利要求1至6中任一项所述的陀螺仪，其特征在于，所述感测框架包括楔形部分，其在靠近锚的第一端较宽且在远离所述锚的第二端较窄。

8.如权利要求1至7中任一项所述的陀螺仪，其特征在于，这对锚中的第一锚由第一间隙来与所述感测框架分离开，且其中这对锚中的第二锚由第二间隙来与所述感测框架分离开。

9.如权利要求1至8中任一项所述的陀螺仪，其特征在于，所述驱动梁在所述感测框架的中心部分处附连至所述感测框架，所述中心部分部署在这对锚之间。

10.如权利要求1至9中任一项所述的陀螺仪，其特征在于，所述驱动梁顺从于在所述第一平面内施加的面内应力，但对于面外应力是刚性的。

11.如权利要求1至10中任一项所述的陀螺仪，其特征在于，所述检验质量块和所述感测框架中的至少一者是至少部分地由电镀金属形成的。

12.如权利要求1至11中任一项所述的陀螺仪，其特征在于，所述驱动梁配置成经由差分压电驱动来产生驱动振荡。

13.如权利要求2所述的陀螺仪，其特征在于，这对锚界定穿过所述陀螺仪的中心部分的第一轴，且其中当所述陀螺仪正在感测模式中操作时，所述检验质量块和所述感测框架绕所述第一轴振荡。

14.如权利要求3所述的陀螺仪，其特征在于，当所述陀螺仪处于感测模式中时，沿所述楔形感测梁的弯曲应力是随着离所述锚的距离增大而呈基本均匀的。

15.如权利要求4所述的陀螺仪，其特征在于，所述链接梁顺从于在所述第一平面内施加的面内应力，但对于面外应力是刚性的。

16.如权利要求4所述的陀螺仪，其特征在于，所述链接梁是迂回型挠曲件。

17.如权利要求7所述的陀螺仪，其特征在于，进一步包括链接梁，所述链接梁配置成当所述陀螺仪处于感测模式中时增大检验质量块感测运动向所述感测框架的传递，其中所述链接梁在所述楔形部分的所述第二端附近连接至所述感测框架。