[发明专利]多孔和非多孔纳米结构有效
| 申请号： | 201180023164.0 | 申请日： | 2011-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN103081107B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | M·费拉里;X·刘;C·基亚皮尼;J·R·法侯瑞 | 申请（专利权）人： | 得克萨斯州大学系统董事会 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/306;H01L23/48;H01L23/532 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了各种微米级和纳米级多孔及非多孔线状结构。例如，本发明公开的结构包含多孔物体，所述多孔物体包含(i)第一区域；以及(ii)沿着所述物体的轴邻近所述第一区域的第二区域，其中所述第一区域具有至少一种不同于第二区域的孔性质。本发明还公开了包括以下内容的结构(i)高电阻率硅；以及(ii)基本上垂直于该物体的轴的横截面。本发明还公开了制备和使用这种结构的方法。例如，本发明提供了通过以下步骤制备多孔物体的方法(i)获得可蚀刻基片；(ii)在基片表面上形成图案化的多孔化辅助金属层，该金属层具有至少一个开口；以及(iii)随后使基片受第一蚀刻溶液和第二蚀刻溶液作用，分别形成多孔物体的第一区域和第二区域。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 纳米 结构 | ||
【主权项】：
一种包含多孔物体的结构，所述多孔物体包含：(i)第一区域；以及(ii)沿着所述物体的轴邻近所述第一区域的第二区域，其中所述第一区域具有至少一种不同于所述第二区域的孔性质，所述性质选自孔径、孔隙率和孔取向，以及其中所述物体具有垂直于所述轴的横截面，所述横截面具有至少一个不超过5μm的横向尺寸，所述物体的纵横比不小于4。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于得克萨斯州大学系统董事会，未经得克萨斯州大学系统董事会许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180023164.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电流测量设备
- 下一篇：一种电能表卡扣式封印
- 同类专利
- 专利分类
