[发明专利]具有正交耦合器的等离子体供应装置无效
| 申请号： | 201180013383.0 | 申请日： | 2011-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN102792589A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | A·拉班茨 | 申请（专利权）人： | 许廷格电子两合公司 |
| 主分类号： | H03H7/48 | 分类号： | H03H7/48 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 舒雄文;蹇炜 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 用于向等离子体负载供应功率的等离子体供应装置，所述等离子体供应装置具有正交耦合器，所述正交耦合器具有至少一个电容和至少一个电感并且适合用于将相对于彼此相移90°的相同频率的两个HF功率信号耦合到一起，分别在所述正交耦合器的第一有用信号连接部和第二有用信号连接部处作为有用信号供应HF功率信号，以形成能够在第三有用信号连接部处作为有用信号输出的耦合HF功率，至少一个有用信号连接部配置为用于第一阻抗。所述正交耦合器（150）具有配置为用于比所述第一阻抗高的第二阻抗的第四有用信号连接部，或仅具有三个有用信号连接部（1，2，3）。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 正交 耦合器 等离子体 供应 装置 | ||
【主权项】：
用于向等离子体负载供应功率的等离子体供应装置，所述等离子体供应装置具有至少一个正交耦合器，所述至少一个正交耦合器具有至少一个电容和至少一个电感并且适合用于将相对于彼此相移90°的相同频率的两个HF功率信号耦合到一起，分别在所述正交耦合器的第一有用信号连接部和第二有用信号连接部处作为有用信号供应HF功率信号，以形成能够在第三有用信号连接部处作为有用信号输出的耦合HF功率，至少一个有用信号连接部配置为用于第一阻抗，其特征在于所述至少一个正交耦合器具有配置为用于比所述第一阻抗高的第二阻抗的第四有用信号连接部，或其特征在于所述至少一个正交耦合器（150，250，260，290，610，620，710）仅具有三个有用信号连接部（1，2，3，251‑253，261‑263，291‑293，611‑613，621‑623，711‑713）。
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