[发明专利]负型感光性树脂组合物、图案形成方法和液体排出头有效
申请号: | 201180008290.9 | 申请日: | 2011-01-27 |
公开(公告)号: | CN102741749A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 高桥表;池龟健;下村雅子 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;B41J2/05;B41J2/16;G03F7/038 |
代理公司: | 北京魏启学律师事务所 11398 | 代理人: | 魏启学 |
地址: | 日本东京都大*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种感光性树脂组合物,其包括:阳离子可聚合化合物、具有阳离子部分和阴离子部分的光酸产生剂,和具有含有季铵结构和季鏻结构中任一的阳离子部分和阴离子部分的盐,其中将所述盐的阴离子部分与源自所述光酸产生剂的阴离子部分的第一酸中的阴离子部分交换,从而形成具有比所述第一酸的酸强度更低的酸强度的第二酸。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 图案 形成 方法 液体 出头 | ||
【主权项】:
一种感光性树脂组合物,其包括:阳离子可聚合化合物;具有阴离子部分和阳离子部分的光酸产生剂;和具有含有季铵结构和季鏻结构中任一的阳离子部分和阴离子部分的盐,其中将所述盐的阴离子部分与源自所述光酸产生剂的阴离子部分的第一酸中的阴离子部分交换,从而形成具有比所述第一酸的酸强度更低的酸强度的第二酸。
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