[实用新型]一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构有效
| 申请号： | 201120572591.1 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202414765U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 陈平;陈世强 | 申请（专利权）人： | 无锡市奥曼特科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云 |
| 地址： | 214024 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构，其能将硅片从料架上搬运至出片碳板，同时能将出片碳板上已处理的硅片搬运至下料装置，其工作效率高，硅片搬运可靠、碎片率低。其特征在于：其包括直线导轨、上料搬运机构和下料搬运机构，上料搬运机构和下料搬运机构均包括直线模组和搬运横梁，直线模组轴接安装有伺服电机，直线模组安装于直线模组支架，直线导轨固定于直线导轨支架、并与直线模组平行，搬运横梁一端通过直线模组连接板安装于直线模组、另一端通过滑块安装于直线导轨，搬运横梁的外侧壁安装有硅片拾取装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 板式 pecvd 设备 自动 上下 系统 硅片 搬运 机构 | ||
【主权项】：
一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构，其特征在于：其包括直线导轨、上料搬运机构和下料搬运机构，所述上料搬运机构和下料搬运机构均包括直线模组和搬运横梁，所述直线模组轴接安装有伺服电机，所述直线模组安装于直线模组支架，所述直线导轨固定于直线导轨支架、并与所述直线模组平行，所述搬运横梁一端通过直线模组连接板安装于所述直线模组、另一端通过滑块安装于所述直线导轨，所述搬运横梁的外侧壁安装有硅片拾取装置。
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