[实用新型]一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及板式PECVD设备的自动化上下料装备技术领域，具体为一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构。

背景技术

以往板式PECVD设备的硅片上料多是人工直接从硅片盒中取出硅片后将硅片有序排列置于出片碳板，再由出片碳板将硅片从进料口送入PECVD设备进行处理，而硅片的下料亦是由人工将从PECVD设备出料口运送出的出片碳板上的已处理硅片放入硅片盒中，其不仅硅片上下料的工作效率低、工人劳动强度大，而且在上下料过程中硅片的碎片率高，生产成本高，因此现在逐步采用全自动的出片机构将硅片从硅片盒取出并排列放置于硅片料架上，这就需要有进一步的搬运装置将硅片料架上的硅片搬运至出片碳板上，由出片碳板将硅片从进料口送入PECVD设备进行处理，同时也需要将从PECVD设备出料口送出的出片碳板上的已处理的硅片搬运至硅片的下料平台。

发明内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构，其能将硅片从料架上搬运至出片碳板，同时能将出片碳板上已处理的硅片搬运至下料装置，其工作效率高，硅片搬运可靠、碎片率低。

其技术方案是这样的，其特征在于：其包括直线导轨、上料搬运机构和下料搬运机构，所述上料搬运机构和下料搬运机构均包括直线模组和搬运横梁，所述直线模组轴接安装有伺服电机，所述直线模组安装于直线模组支架，所述直线导轨固定于直线导轨支架、并与所述直线模组平行，所述搬运横梁一端通过直线模组连接板安装于所述直线模组、另一端通过滑块安装于所述直线导轨，所述搬运横梁的外侧壁安装有硅片拾取装置。

其进一步特征在于：所述上料搬运机构的直线模组与下料搬运机构的直线模组交错平行安装于所述直线模组支架；所述上料搬运机构的搬运横梁与所述下料搬运机构的搬运横梁背向平行安装；所述硅片拾取装置包括气动滑台和气旋吸盘，所述气旋吸盘通过吸盘安装板固定于吸盘安装横梁，所述吸盘安装横梁通过气动滑台连接板安装于所述气动滑台，所述气动滑台固定于所述搬运横梁的外侧壁；所述吸盘安装横梁上安装有六个气旋吸盘，所述六个气旋吸盘均匀分布于所述吸盘安装横梁。

采用本实用新型机构一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运，其有益效果在于：其包括上料搬运机构和下料搬运机构，在上料搬运机构将未处理的硅片搬运至出片碳板上的同时下料搬运机构可以将出片碳板上已处理的硅片搬运至下料平台，因而能够大大提高硅片的上下料效率；同时，安装于搬运横梁上的硅片拾取装置采用气旋吸盘装置，其能够可靠地吸取和放置硅片，减少硅片在搬运过程中损坏，降低碎片率，降低生产成本。

附图说明

图1 为本实用新型一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构结构示意图。

具体实施方式

见图1，本实用新型其包括直线导轨11、上料搬运机构和下料搬运机构，上料搬运机构包括直线模组1和搬运横梁2，下料搬运机构包括直线模组15和搬运横梁14，直线模组1、15均轴接安装有伺服电机4，直线模组1、15安装于直线模组支架13，直线导轨11固定于直线导轨支架12、并与直线模组1、15平行，搬运横梁2、14的一端分别通过直线模组连接板3对应安装于直线模组1和15、另一端均通过滑块10安装于直线导轨11，搬运横梁2、14的外侧壁安装有硅片拾取装置。上料搬运机构的直线模组1与下料搬运机构的直线模组15交错平行安装于直线模组支架13；上料搬运机构的搬运横梁2与下料搬运机构的搬运横梁14背向平行安装；硅片拾取装置包括气动滑台9和气旋吸盘6，气旋吸盘6通过吸盘安装板5固定于吸盘安装横梁7，吸盘安装横梁7通过气动滑台连接板8安装于气动滑台9，气动滑台9固定于搬运横梁2的外侧壁；吸盘安装横梁7上安装有六个气旋吸盘6，六个气旋吸盘6均匀分布于吸盘安装横梁7。本实用新型中硅片拾取装置中气旋吸盘的数量可以根据实际生产要求进行调整。本实用新型装置安装使用时，其横向横跨于板式PECVD设备自动上下料机的硅片上料平台、出片碳板机构、硅片下料平台的上方，其中硅片上料平台与硅片下料平台位于本实用新型装置的横向两端部下方、出片碳板机构位于本实用新型装置的横向中央下方。

下面具体描述一下本实用新型的工作过程：上料搬运机构的搬运横梁2在伺服电机4、直线模组1的作用下沿直线导轨11水平移动至直线导轨11的端部、待搬运硅片上方，气动滑台9动作、驱动与其连接安装的气旋吸盘6向下运动使气旋吸盘6与硅片接近，气旋吸盘6通气、吸取硅片，然后伺服电机4、直线模组1驱动搬运横梁2向直线导轨11的中间水平移动直至出片碳板的正上方，气动滑台9带动气旋吸盘6向下使硅片与出片碳板接近，气旋吸盘6断气，硅片即被放置于出片碳板上；进行硅片下料搬运时，搬运横梁14在伺服电机4、直线模组15的作用下沿直线导轨11水平移动至直线导轨中间、出片碳板的上方，搬运横梁14上气动滑台9动作、驱动与其连接安装的气旋吸盘6向下运动使气旋吸盘6与硅片接近，然后气旋吸盘6通气并吸取硅片，接着伺服电机4、直线模组15驱动搬运横梁14向直线导轨11的端部、硅片下料平台正上方，气动滑台9向下动作、使得硅片与硅片下料平台接近，气旋吸盘6断气、硅片即被放置于硅片下料平台上。