[实用新型]一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构有效
| 申请号： | 201120572591.1 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202414765U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 陈平;陈世强 | 申请（专利权）人： | 无锡市奥曼特科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云 |
| 地址： | 214024 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 板式 pecvd 设备 自动 上下 系统 硅片 搬运 机构 | ||
1.一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构，其特征在于：其包括直线导轨、上料搬运机构和下料搬运机构，所述上料搬运机构和下料搬运机构均包括直线模组和搬运横梁，所述直线模组轴接安装有伺服电机，所述直线模组安装于直线模组支架，所述直线导轨固定于直线导轨支架、并与所述直线模组平行，所述搬运横梁一端通过直线模组连接板安装于所述直线模组、另一端通过滑块安装于所述直线导轨，所述搬运横梁的外侧壁安装有硅片拾取装置。
2.根据权利要求1所述的一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构，其特征在于：所述上料搬运机构的直线模组与下料搬运机构的直线模组交错平行安装于所述直线模组支架。
3.根据权利要求2所述的一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构，其特征在于：所述上料搬运机构的搬运横梁与所述下料搬运机构的搬运横梁背向平行安装。
4.根据权利要求3所述的一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构，其特征在于：所述硅片拾取装置包括气动滑台和气旋吸盘，所述气旋吸盘通过吸盘安装板固定于吸盘安装横梁，所述吸盘安装横梁通过气动滑台连接板安装于所述气动滑台，所述气动滑台固定于所述搬运横梁的外侧壁。
5.根据权利要求4所述的一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构，其特征在于：所述吸盘安装横梁上安装有六个气旋吸盘，所述六个气旋吸盘均匀分布于所述吸盘安装横梁。
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