[实用新型]多晶硅氢气加热炉有效
| 申请号： | 201120525110.1 | 申请日： | 2011-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN202415171U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 孙建荣;顾豪杰;张晓春 | 申请（专利权）人： | 无锡中彩科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214183 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种多晶硅氢气加热炉，包括炉壁和炉腔，特征是：在所述炉腔内设置有隔热罩，在隔热罩中间的腔体内放置盘管，在隔热罩和炉壁之间形成的空腔内设置加热丝。所述盘管的一端为氢气进口，另一端为氢气出口。所述盘管呈螺旋形。本实用新型利用在炉壳内装置隔热罩，使加热器内盘管受热均匀不会出现裂痕，炉内热辐射减少，延长加热器寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 氢气 加热炉 | ||
【主权项】：
一种多晶硅氢气加热炉，包括炉壁（1）和炉腔，其特征是：在所述炉腔内设置有隔热罩（3），在隔热罩（3）中间的腔体内放置盘管（4），在隔热罩（3）和炉壁（1）之间形成的空腔内设置加热丝（2）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡中彩科技有限公司，未经无锡中彩科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120525110.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种水处理用塔体的防回流结构
- 下一篇：流体控制装置和压力控制装置
