[实用新型]多晶硅氢气加热炉有效
| 申请号： | 201120525110.1 | 申请日： | 2011-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN202415171U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 孙建荣;顾豪杰;张晓春 | 申请（专利权）人： | 无锡中彩科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214183 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 氢气 加热炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅氢气加热炉，包括炉壁（1）和炉腔，其特征是：在所述炉腔内设置有隔热罩（3），在隔热罩（3）中间的腔体内放置盘管（4），在隔热罩（3）和炉壁（1）之间形成的空腔内设置加热丝（2）。
2.如权利要求1所述的多晶硅氢气加热炉，其特征是：所述盘管（4）的一端为氢气进口（5），另一端为氢气出口（6）。
3.如权利要求1所述的多晶硅氢气加热炉，其特征是：所述盘管（4）呈螺旋形。
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