[实用新型]多晶硅氢气加热炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅生产用的加热器，尤其是一种多晶硅氢气加热炉。

背景技术

氢气必须加热到600℃才能与硅粉、盐酸进行反应。在现有技术中，一般采用直接在炉壳内通过发热体加热达到高温。这种加热方式的缺陷是：在加热过程中炉内盘管受热不均，易出现裂痕，影响加热炉使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种多晶硅氢气加热炉，可以使加热器内盘管受热均匀不会出现裂痕，炉内热辐射减少，延长加热器寿命。

按照本实用新型提供的技术方案，所述多晶硅氢气加热炉，包括炉壁和炉腔，特征是：在所述炉腔内设置有隔热罩，在隔热罩中间的腔体内放置盘管，在隔热罩和炉壁之间形成的空腔内设置加热丝。

所述盘管的一端为氢气进口，另一端为氢气出口。

所述盘管呈螺旋形。

本实用新型利用在炉壳内装置隔热罩，使加热器内盘管受热均匀不会出现裂痕，炉内热辐射减少，延长加热器寿命。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。

如图所示：多晶硅氢气加热炉包括炉壁1、加热丝2、隔热罩3、盘管4、氢气进口5、氢气出口6等。

本实用新型所述的多晶硅氢气加热炉，包括炉壁1和炉腔，在所述炉腔内设置有隔热罩3，所述隔热罩3由钢板制成，在隔热罩3中间的腔体内放置盘管4，在隔热罩3和炉壁1之间形成的空腔内设置加热丝2；

所述盘管4的一端为氢气进口5，另一端为氢气出口6；

所述盘管4呈螺旋形设置在隔热罩3中间的腔体内。

本实用新型所述的多晶硅氢气加热炉只需在盘管4外面设置一个隔热罩3，简单便于操作；在隔热罩3中间设置盘管4，氢气通过螺旋形的盘管4，并由隔热罩3隔热从而间接加热，使盘管4受热均匀，不易发生紊乱的热胀冷缩导致盘管出现裂痕。