[实用新型]薄膜太阳能电池沉积生产设备

摘要

一种薄膜太阳能电池沉积生产设备，包含传输腔、P型第一沉积腔和第二沉积腔，传输腔设置有加热装置，用于加热基板。不同的沉积腔中沉积不同类型的硅薄膜，P型硅薄膜沉积过程中残留在沉积腔中的掺杂气体不会影响I型硅薄膜沉积，从而提高薄膜太阳能的光电转换效率，传输腔中设置加热装置，用于加热基板，可以保持完成P型硅薄膜沉积的基板处于较高的温度，促进附着在基板上的掺杂气体残留挥发，进一步降低沉积P型硅薄膜沉积过程中的掺杂气体残留对I型硅薄膜沉积的影响；腔体采用叠层设置，提高了处理效率，沉积腔共用气体源和清洁源，降低了设备的生产成本。

主权项

一种薄膜太阳能电池沉积生产设备，其特征在于，该设备包含：传输腔（21），用于在真空环境中传输基板；P型第一沉积腔（24），其连接所述的传输腔（21），用于在基板上沉积P型硅薄膜；第二沉积腔，其连接所述的传输腔（21），用于沉积I型硅薄膜和N型硅薄膜；所述的传输腔（21）设置有加热装置，用于加热基板。