[实用新型]电极盒结构

摘要

本实用新型公开了一种电极盒结构，包括左、右两个电极盒，所述左、右两个电极盒通过一对接板连接，所述电极盒的顶部设有顶盖，所述左电极盒的左端、右电极盒的右端设有端盖。该电极盒结构由左右两个电极盒组成，这样可有效增大其反应腔体积，在反应腔体积大增大的前提下，通过适当的工艺压力和气体输送方法就可以获得高的气体利用率，增大工艺窗口、进而在转换不同工艺气体、比例配方和制程的过程中取得均匀的非晶硅膜厚和膜特性。

主权项

一种电极盒结构，其特征在于：其包括左、右两个电极盒，所述左、右两个电极盒通过一对接板连接，所述电极盒的顶部设有顶盖，所述左电极盒的左端、右电极盒的右端设有端盖。