[实用新型]电极盒结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子设备和太阳能电池技术，尤其涉及一种用于真空镀膜机的电极盒结构。

背景技术

非晶硅薄膜太阳能电池是20多年来国际上新发展起来的一项太阳能电池新技术。非晶硅薄膜太阳能电池的硅材料厚度只有1微米左右，是单晶硅太阳能电池硅材料厚度的1/200-1/300，与单晶硅太阳能电池相比，制备这种薄膜所用硅原料很少，薄膜生长时间较短，设备制造简单，容易大批量连续生产，根据国际上有关专家的估计，非晶硅薄膜太阳能电池是目前能大幅度降低成本的最有前途的太阳能电池。

非晶硅材料是由气相沉积形成的，目前已被普遍采用的方法是等离子增强型化学气相沉积(PECVD)法。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。

薄膜化学气相沉积是非晶硅薄膜太阳能电池的规模化生产的核心工艺，实现该工艺的核心设备是电极盒。目前电极盒的反应腔体积较小，在进行气相沉积时，工艺窗口很小，在进行多种不同工艺气体气相沉淀时很难保证非晶硅膜厚和膜特性的均匀性。

实用新型内容

针对上述现有技术的不足，本实用新型要解决的技术问题是提供一种可增大工艺窗口的电极盒结构。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种电极盒结构，其包括左、右两个电极盒，所述左、右两个电极盒通过一对接板连接，所述电极盒的顶部设有顶盖，所述左电极盒的左端、右电极盒的右端均设有端盖。

优选的，所述电极盒内设有16组电极组。

优选的，所述电极盒的进气口处设有匀气板。

优选的，所述电极盒为铝合金结构。

优选的，所述电极盒位于一电极盒小车上。

上述技术方案具有如下有益效果：该电极盒结构由左右两个电极盒组成，这样可有效增大其反应腔体积，在反应腔体积大增大的前提下，通过适当的工艺压力和气体输送方法就可以获得高的气体利用率，增大工艺窗口、进而在转换不同工艺气体、比例配方和制程的过程中取得均匀的非晶硅膜厚和膜特性。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图对本专利进行详细说明。

附图说明

图1为本实用新型实施例的爆炸图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细介绍。

如图1所示，该电极盒结构包括一左电极盒1和一右电极盒2，左电极盒1和右电极盒2通过对接板5连接。左电极盒1的左端设有端盖3，右电极盒2的右端设有端盖4，左电极盒1的顶部分别设有顶盖6，右电极盒2的顶部设有顶盖8。

左电极盒1、右电极盒2均采用铝合金结构，每个电极盒内设有16组电极组，左电极盒1进气口处设有匀气板7，右电极盒2进气口处设有匀气板9，这样可使进入电极盒腔体的气体更加的均匀。左电极盒1、右电极盒2位于一电极盒小车10上，这样可使电极盒运送、安装更加的方便。

该电极盒结构由左右两个电极盒组成，这样可有效增大其反应腔，在反应腔体积大增大的前提下，通过适当的工艺压力和气体输送方法就可以获得高的气体利用率，增大工艺窗口、进而在转换不同工艺气体、比例配方和制程的过程中取得均匀的非晶硅膜厚和膜特性。

以上对本实用新型实施例所提供的一种电极盒结构进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制，凡依本实用新型设计思想所做的任何改变都在本实用新型的保护范围之内。