[实用新型]一种冷却板有效
申请号: | 201120287869.0 | 申请日: | 2011-08-09 |
公开(公告)号: | CN202187092U | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 汤旋 | 申请(专利权)人: | 浙江思博恩新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06;H01L31/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 314117 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型实施例公开了一种冷却板,该冷却板包括:板体和设置在所述板体内的螺旋通道,所述螺旋通道的一端位于所述板体内,所述螺旋通道的另一端位于所述板体边缘,并且所述螺旋通道的两端均与所述板体外空间相连通。本实用新型所提供的冷却板,在晶体硅铸锭过程中使用时,可使晶体炉坩埚内的液态硅从底部中心向上和中心向外逐渐凝固,最终可提高所形成的晶体硅的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 冷却 | ||
【主权项】:
一种冷却板,其特征在于,包括:板体和设置在所述板体内的螺旋通道,所述螺旋通道的一端位于所述板体内,所述螺旋通道的另一端位于所述板体边缘,并且所述螺旋通道的两端均与所述板体外空间相连通。
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