[实用新型]一种晶体生长炉及其安全排气阀有效
| 申请号： | 201120163706.1 | 申请日： | 2011-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN202081192U | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 汤旋 | 申请（专利权）人： | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 314117 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种安全排气阀，用于晶体生长炉的排气，包括盲板和密封圈，所述盲板的一端与所述晶体生长炉的真空管道上的法兰铰接，所述密封圈设置在所述盲板和所述法兰之间。本实用新型出现过充现象时，炉腔内的氧化物超细粉尘游走至密封圈处，由于安全排气阀仅依靠盲板的自重进行密封，因此可轻易使得安全排气阀打开，而将氧化物超细粉尘放出，起到自然排压的目的。在真空腔体遇到打火损坏造成漏水，水在高温下蒸发后，安全排气阀会迅速排气。而且本实用新型清理真空管路十分方便，掀起盲板就可进行管路清洗，放下后自然封闭管路，开启真空后完全吸紧。本实用新型还公开了一种具有上述安全排气阀的晶体生长炉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 及其 安全 气阀 | ||
【主权项】：
一种安全排气阀，用于晶体生长炉的排气，包括盲板(13)和密封圈(14)，其特征在于，所述盲板(13)的一端与所述晶体生长炉的真空管道(11)上的法兰(12)铰接，所述密封圈(14)设置在所述盲板(13)和所述法兰(12)之间。
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