[实用新型]一种晶体生长炉及其安全排气阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，特别涉及一种晶体生长炉及其安全排气阀。

背景技术

晶体的制造过程处在高温状态下，热场结构比较复杂，由于晶体安装原因可能导致与晶体生长炉的炉腔内壁接触，产生电击打火损坏腔体而漏水。还有一种情况是由于石英坩埚漏硅，损坏腔体材料而漏水。由于腔体损坏而漏出的水在高温中急剧蒸发膨胀，极其危险，因此需要把高温高压的水蒸气通过排气阀进行释放，以缓解晶体生长炉内的压力。

如图1所示，目前的排气阀一般包括盲板3，盲板3通过螺栓6可滑动的设置在真空管道1的法兰2上，并且在螺栓6上套设有将盲板3压紧在法兰2上的压缩弹簧6，在法兰2和盲板3之间还设有密封圈4。晶体生长炉的炉腔需经常抽真空和充气，以保持炉内分别处于真空和常压状态。在真空状态充入气体以恢复常压时，炉内压力等于或大于常压情况下，炉腔内的氧化物超细粉尘在压力下向排气阀的出气端游走，受压缩弹簧6的形变和弹簧压力及盲板3的自重，使得排气阀不能有效开启。在氧化物超细粉尘游走至密封圈4处时，由于排气阀未开启，而使得氧化物超细粉尘游不能排出，将覆盖在密封圈4的外表面上，导致密封性能下降。在抽真空时，由于密封圈4的外表面上覆盖有氧化物超细粉尘，使得密封不严，产生漏气，无法保证炉腔内的真空度。

因此，如何方便实现排气阀的开启，降低真空泄漏的故障率，是本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种晶体生长炉及其安全排气阀，以方便实现排气阀的开启，降低真空泄漏的故障率。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种安全排气阀，用于晶体生长炉的排气，包括盲板和密封圈，所述盲板的一端与所述晶体生长炉的真空管道上的法兰铰接，所述密封圈设置在所述盲板和所述法兰之间。

优选的，在上述安全排气阀中，还包括铰接销轴；

所述盲板上设置有第一固定部件，该第一固定部件上设有第一铰接孔；

所述法兰上设置有第二固定部件，该第二固定部件上设有第二铰接孔，所述铰接销轴依次插设于所述第一铰接孔和所述第二铰接孔上。

优选的，在上述安全排气阀中，第一固定部件和所述第二固定部件分别通过紧固螺栓固定在所述盲板和所述法兰上。

优选的，在上述安全排气阀中，，所述法兰的端面上开设有容纳所述密封圈的槽，所述密封圈置于该槽内。

优选的，在上述安全排气阀中，所述密封圈为O型密封圈。

优选的，在上述安全排气阀中，所述盲板水平置于所述法兰上。

优选的，在上述安全排气阀中，所述盲板倾斜设置于所述法兰上。

优选的，在上述安全排气阀中，所述盲板与水平面的夹角为30～50度。

一种晶体生长炉，包括排气阀，所述排气阀为如上任一项所述的安全排气阀。

从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供的安全排气阀，用于晶体生长炉的排气，包括盲板和密封圈，其中，盲板的一端与所述晶体生长炉的真空管道上的法兰铰接，密封圈设置在所述盲板和所述法兰之间。本实用新型省去了压缩弹簧和螺栓，仅依靠盲板的重力保持炉腔的密封。在炉室由真空状态充气至常压时，如果出现过充现象，炉腔内的氧化物超细粉尘在压力下向安全排气阀的出气端游走，在氧化物超细粉尘游走至密封圈处时，由于安全排气阀仅依靠盲板的自重进行密封，因此可轻易使得安全排气阀打开，而将氧化物超细粉尘放出，起到自然排压的目的。在真空腔体遇到打火损坏造成漏水，水在高温下蒸发后，安全排气阀会迅速排气。而且本实用新型清理真空管路十分方便，掀起盲板就可进行管路清洗，放下后自然封闭管路，开启真空后完全吸紧。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有排气阀的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的安全排气阀的结构示意图；

图3本实用新型另一实施例提供的安全排气阀的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型公开了一种晶体生长炉及其安全排气阀，以方便实现排气阀的开启，降低真空泄漏的故障率。