[实用新型]一种晶体生长炉及其安全排气阀有效

专利信息
申请号: 201120163706.1 申请日: 2011-05-20
公开(公告)号: CN202081192U 公开(公告)日: 2011-12-21
发明(设计)人: 汤旋 申请(专利权)人: 浙江昱辉阳光能源有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 逯长明
地址: 314117 *** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 晶体生长 及其 安全 气阀
【权利要求书】:

1.一种安全排气阀,用于晶体生长炉的排气,包括盲板(13)和密封圈(14),其特征在于,所述盲板(13)的一端与所述晶体生长炉的真空管道(11)上的法兰(12)铰接,所述密封圈(14)设置在所述盲板(13)和所述法兰(12)之间。

2.如权利要求1所述的安全排气阀,其特征在于,还包括铰接销轴(17);

所述盲板(13)上设置有第一固定部件(15),该第一固定部件(15)上设有第一铰接孔;

所述法兰(12)上设置有第二固定部件(16),该第二固定部件(16)上设有第二铰接孔,所述铰接销轴(17)依次插设于所述第一铰接孔和所述第二铰接孔上。

3.如权利要求2所述的安全排气阀,其特征在于,第一固定部件(15)和所述第二固定部件(16)分别通过紧固螺栓固定在所述盲板(13)和所述法兰(12)上。

4.如权利要求1所述的安全排气阀,其特征在于,所述法兰(12)的端面上开设有容纳所述密封圈(14)的槽,所述密封圈(14)置于该槽内。

5.如权利要求4所述的安全排气阀,其特征在于,所述密封圈(14)为O型密封圈。

6.如权利要求1-5任一项所述的安全排气阀,其特征在于,所述盲板(13)水平置于所述法兰(12)上。

7.如权利要求1-5任一项所述的安全排气阀,其特征在于,所述盲板(13)倾斜设置于所述法兰(12)上。

8.如权利要求7所述的安全排气阀,其特征在于,所述盲板(13)与水平面的夹角为30~50度。

9.一种晶体生长炉,包括排气阀,其特征在于,所述排气阀为如权利要求1-8任一项所述的安全排气阀。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江昱辉阳光能源有限公司,未经浙江昱辉阳光能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120163706.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top