[实用新型]一种晶体生长炉及其安全排气阀有效
申请号: | 201120163706.1 | 申请日: | 2011-05-20 |
公开(公告)号: | CN202081192U | 公开(公告)日: | 2011-12-21 |
发明(设计)人: | 汤旋 | 申请(专利权)人: | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 314117 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 及其 安全 气阀 | ||
1.一种安全排气阀,用于晶体生长炉的排气,包括盲板(13)和密封圈(14),其特征在于,所述盲板(13)的一端与所述晶体生长炉的真空管道(11)上的法兰(12)铰接,所述密封圈(14)设置在所述盲板(13)和所述法兰(12)之间。
2.如权利要求1所述的安全排气阀,其特征在于,还包括铰接销轴(17);
所述盲板(13)上设置有第一固定部件(15),该第一固定部件(15)上设有第一铰接孔;
所述法兰(12)上设置有第二固定部件(16),该第二固定部件(16)上设有第二铰接孔,所述铰接销轴(17)依次插设于所述第一铰接孔和所述第二铰接孔上。
3.如权利要求2所述的安全排气阀,其特征在于,第一固定部件(15)和所述第二固定部件(16)分别通过紧固螺栓固定在所述盲板(13)和所述法兰(12)上。
4.如权利要求1所述的安全排气阀,其特征在于,所述法兰(12)的端面上开设有容纳所述密封圈(14)的槽,所述密封圈(14)置于该槽内。
5.如权利要求4所述的安全排气阀,其特征在于,所述密封圈(14)为O型密封圈。
6.如权利要求1-5任一项所述的安全排气阀,其特征在于,所述盲板(13)水平置于所述法兰(12)上。
7.如权利要求1-5任一项所述的安全排气阀,其特征在于,所述盲板(13)倾斜设置于所述法兰(12)上。
8.如权利要求7所述的安全排气阀,其特征在于,所述盲板(13)与水平面的夹角为30~50度。
9.一种晶体生长炉,包括排气阀,其特征在于,所述排气阀为如权利要求1-8任一项所述的安全排气阀。
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