[实用新型]托盘组件和具有该托盘组件的基片处理设备

摘要

本实用新型提出一种托盘组件和具有该托盘组件的基片处理设备。托盘组件包括：托盘本体，托盘本体的上表面上设有用于容纳基片的容纳槽且托盘本体内还设有从容纳槽的底面延伸到托盘本体的下表面的供气孔；设在容纳槽内以支撑基片且围绕供气孔的上端的密封圈；和安装在托盘本体的上表面上的盖板，盖板上设有与托盘本体上的容纳槽对应的通孔，通孔的下沿设有从盖板的下表面延伸出用于压住基片的突起，其中支撑在密封圈上且由突起压住的基片的上表面不高于托盘本体的上表面。根据本实用新型的托盘组件可以减少氦气的泄露，提高冷却效果，由此提高工艺的稳定性。另外，根据本实用新型的托盘组件减少了装片时间，提高了产能。

主权项

一种托盘组件，其特征在于，包括：托盘本体，所述托盘本体的上表面上设有用于容纳基片的容纳槽，且所述托盘本体内还设有从所述容纳槽的底面延伸到所述托盘本体的下表面的供气孔；密封圈，所述密封圈设在所述容纳槽内以支撑所述基片且所述密封圈围绕所述供气孔的上端；和盖板，所述盖板安装在所述托盘本体的上表面上，所述盖板上设有与所述托盘本体上的所述容纳槽对应的通孔，所述通孔的下沿设有从所述盖板的下表面延伸出用于压住所述基片的突起，其中支撑在所述密封圈上且由所述突起压住的所述基片的上表面不高于所述托盘本体的上表面。