[实用新型]一种石英托架无效
| 申请号： | 201120133459.0 | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN202034359U | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 沈法松 | 申请（专利权）人： | 苏州凯西石英电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;汪青 |
| 地址： | 215233 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种石英托架，其包括位于两侧且竖立设置的石英挡板、设置在两侧的石英挡板之间的多个水平设置的石英托杆以及设置在石英挡板外侧的石英抓杆，所述石英抓杆的外表面上形成有磨砂层。本实用新型由于在石英抓杆的外表面上形成有磨砂层，增加了石英抓杆的摩擦系数，机械手对石英抓杆进行抓取时不易滑落，提高作业安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 托架 | ||
【主权项】：
一种石英托架，包括位于两侧且竖立设置的石英挡板（1）、设置在两侧的所述石英挡板（1）之间的多个水平设置的石英托杆（2）以及设置在所述石英挡板（1）外侧的石英抓杆（3），其特征在于：所述石英抓杆（3）的外表面上形成有磨砂层（4）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
