[实用新型]一种石英托架无效
申请号: | 201120133459.0 | 申请日: | 2011-04-29 |
公开(公告)号: | CN202034359U | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 沈法松 | 申请(专利权)人: | 苏州凯西石英电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫;汪青 |
地址: | 215233 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 托架 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能行业硅片生产时硅片的石英托架。
背景技术
太阳能行业硅片生产时所采用的石英托架包括位于两侧且竖立设置的石英挡板、设置在两侧的石英挡板之间的多个水平设置的石英托杆以及设置在所述石英挡板外侧的石英抓杆,工作时,硅片由多个石英托杆承载,通过机械手抓住石英抓杆而将整个托架提起,该结构的托架,石英抓杆为光面,摩擦力小,在机械手抓住石英抓杆时容易滑落,而导致将硅片摔落和将托架摔碎。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种改进的石英托架。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:
一种石英托架,其包括位于两侧且竖立设置的石英挡板、设置在两侧的石英挡板之间的多个水平设置的石英托杆以及设置在石英挡板外侧的石英抓杆,所述石英抓杆的外表面上形成有磨砂层。
由于采用以上技术方案的实施,本实用新型与现有技术相比具有如下优点:由于在石英抓杆的外表面上形成有磨砂层,增加了石英抓杆的摩擦系数,机械手对石英抓杆进行抓取时不易滑落,提高作业安全性。
附图说明
下面结合具体的实施例,对本实用新型做进一步详细的说明。
图1为根据本实用新型的石英托架的主视示意图;
图2为根据本实用新型的石英托架的俯视示意图;
图3为根据本实用新型的石英托架的右视示意图;
其中:1、石英挡板;2、石英托杆;3、石英抓杆;4、磨砂层。
具体实施方式
如图1、图2和图3所示,按照本实施例的石英托架包括位于两侧且竖立设置的石英挡板1、设置在两侧的石英挡板1之间的多个水平设置的石英托杆2以及设置在石英挡板1外侧的石英抓杆3,特别是所述石英抓杆3的外表面上形成有磨砂层4。该磨砂层4可通过常规磨砂处理形成。
由于在石英抓杆的外表面上形成有磨砂层,增加了石英抓杆的摩擦系数,机械手对石英抓杆进行抓取时不易滑落,提高了作业安全性。
以上对本实用新型做了详尽的描述,其目的在于让熟悉此领域技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围,凡根据本实用新型的精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造