[实用新型]微电子机械系统电容式相对湿度传感器

摘要

本实用新型公开了一微电子机械系统电容式相对湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括设有空腔（5）的衬底（1）、设在衬底（1）上的氧化层（2）、分别设置在氧化层（2）上的第一电容电极（3）和第二电容电极（4），第一电容电极（3）和第二电容电极（4）设置在空腔（5）上方，第一电容电极（3）包括若干平行的第一电极（33）、将第一电极（33）连接在一起的第一公共端（31）、每个第一电极（33）设有与第一公共端（31）相对的第一自由端（32），第一电极（33）连接第一公共端（31）和第一自由端（32）。本实用新型成本低，精度高，抗干扰性强，长期稳定性好。

主权项

一种微电子机械系统电容式相对湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括设有空腔（5）的衬底（1）、设在衬底（1）上的氧化层（2）、分别设置在氧化层（2）上的第一电容电极（3）和第二电容电极（4），第一电容电极（3）和第二电容电极（4）设置在空腔（5）上方，第一电容电极（3）包括若干平行的第一电极（33）、将第一电极（33）连接在一起的第一公共端（31）、每个第一电极（33）设有与第一公共端（31）相对的第一自由端（32），第一电极（33）连接第一公共端（31）和第一自由端（32），第二电容电极（4）包括若干平行的第二电极（43）、将第二电极（43）连接在一起的第二公共端（41）、每个第二电极（43）设有与第二公共端（41）相对的第二自由端（42），第二电极（43）连接第二公共端（41）和第二自由端（42）；第一自由端（32）与第二公共端（41）不接触，第二自由端（42）与第一公共端（31）不接触。