[实用新型]用于镀膜工艺的喷淋头调平装置

摘要

本实用新型公开了一种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，所述喷淋头的一侧对着晶圆，另一侧设有用于对喷淋头进行调平的三组调整机构，每个调整机构采用蜗轮蜗杆副调整机构，所述蜗轮蜗杆副调整机构包括蜗轮和蜗杆，所述蜗轮和所述蜗杆相啮合，所述蜗杆的一端与所述喷淋头固定连接，蜗轮转动时带动蜗杆边转动边上下移动。本实用新型用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，由于采用蜗轮蜗杆副调整机构作为其调整机构，相比现有的采用的螺钉调整机构的喷淋头调平装置，不但提高了调整精度，而且由于其具有自锁功能，蜗杆不能反向移动，因此可以使得调整好位置的喷淋头保持正确位置不发生改变，确保了镀膜工艺的稳定性。

主权项

一种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，所述喷淋头的一侧对着晶圆，另一侧设有用于对喷淋头进行调平的三组调整机构，其特征在于，每个调整机构采用蜗轮蜗杆副调整机构。