[发明专利]可调电容器、等离子体阻抗匹配装置、方法和基板处理设备有效
| 申请号： | 201110453655.0 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102568993A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 孙德铉 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46;H01G5/38 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 韩国忠淸南道天*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请揭露了一种基板处理设备，包括：处理室；被配置为从供应至所述处理室内的气体产生等离子体的电极；被配置为输出RF功率的RF电源；被配置为将所述RF功率从所述RF电源传输至所述电极的传输线；连接至所述传输线且被配置为匹配等离子体阻抗的阻抗匹配单元；以及被配置为向所述阻抗匹配单元输出控制信号的控制器，其中，所述阻抗匹配单元包括具有多个电容器以及对应于所述多个电容器的多个开关的可调电容器，所述多个开关根据所述控制信号开启/关闭以便调整所述可调电容器的电容。 | ||
| 搜索关键词： | 可调 电容器 等离子体 阻抗匹配 装置 方法 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种基板处理设备，包括：处理室；电极，被配置为从供应至所述处理室内的气体产生等离子体；RF电源，被配置为输出RF功率；传输线，被配置为将所述RF功率从所述RF电源传输至所述电极；阻抗匹配单元，连接至所述传输线且被配置为匹配等离子体阻抗；以及控制器，被配置为向所述阻抗匹配单元输出控制信号；其中，所述阻抗匹配单元包括具有多个电容器以及对应于所述多个电容器的多个开关的可调电容器，所述多个开关根据所述控制信号开启/关闭以调整所述可调电容器的电容。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于细美事有限公司，未经细美事有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110453655.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于将接触透镜从容器取出的方法及装置
- 下一篇：螺杆压缩机
