[发明专利]一种电致发光测试电极的制作方法有效
| 申请号： | 201110431950.6 | 申请日： | 2011-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102520221A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 孙德亮;刘凯 | 申请（专利权）人： | 中微光电子（潍坊）有限公司 |
| 主分类号： | G01R3/00 | 分类号： | G01R3/00 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 李江 |
| 地址： | 261061 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电致发光测试电极的制作方法，包括：挑选大小均一的铟粒，在外延片上使用固定压力进行定力按压铟粒，重复对铟粒依次进行加热、冷却、定力按压多次，使铟粒和外延片之间的电阻达到稳定；本发明的优点在于：制作方法简单，使用方便，通过对铟粒重复进行加热、冷却、定力按压多次，从而测试的重复性大大提高，测试的重复性标准差能够控制在4％以内，得到了更加可靠稳定的光电测试结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电致发光 测试 电极 制作方法 | ||
【主权项】：
一种电致发光测试电极的制作方法，包括以下步骤：（1）挑选大小均一的铟粒；（2）在外延片上使用固定压力进行定力按压铟粒；（3）对铟粒依次进行350‑400℃加热1‑3分钟、冷却0.5‑2分钟、定力按压2‑8秒，重复循环2‑10次，使铟粒和外延片之间的电阻达到稳定。
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