[发明专利]一种电致发光测试电极的制作方法有效
| 申请号： | 201110431950.6 | 申请日： | 2011-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102520221A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 孙德亮;刘凯 | 申请（专利权）人： | 中微光电子（潍坊）有限公司 |
| 主分类号： | G01R3/00 | 分类号： | G01R3/00 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 李江 |
| 地址： | 261061 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电致发光 测试 电极 制作方法 | ||
1.一种电致发光测试电极的制作方法，包括以下步骤：
（1）挑选大小均一的铟粒；
（2）在外延片上使用固定压力进行定力按压铟粒；
（3）对铟粒依次进行350-400℃加热1-3分钟、冷却0.5-2分钟、定力按压2-8秒，重复循环2-10次，使铟粒和外延片之间的电阻达到稳定。
2.根据权利要求1所述的电致发光测试电极的制作方法，其特征在于：所述步骤（3）的加热温度为380℃。
3.根据权利要求1所述的电致发光测试电极的制作方法，其特征在于：所述步骤（3）的加热时间为2分钟。
4.根据权利要求1所述的电致发光测试电极的制作方法，其特征在于：所述步骤（3）的冷却时间为为1分钟。
5.根据权利要求1所述的电致发光测试电极的制作方法，其特征在于：所述步骤（3）的按压时间为5秒钟。
6.根据权利要求1所述的电致发光测试电极的制作方法，其特征在于：所述步骤（3）的重复循环次数为3次。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的电致发光测试电极的制作方法，其特征在于：所述的按压铟粒的材料粗糙度Ra≥5um。
8.根据权利要求7所述的电致发光测试电极的制作方法，其特征在于：所述的按压铟粒的材料为三氧化二铝衬底的磨光面。
9.根据权利要求1所述的电致发光测试电极的制作方法，其特征在于：所述铟粒直径的标准公差小于5％。
10.根据权利要求1所述的电致发光测试电极的制作方法，其特征在于：所述按压铟粒的压力公差小于1％。
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