[发明专利]一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法有效
| 申请号： | 201110431555.8 | 申请日： | 2011-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102520561A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 郑婉华;马传龙;范学东;马绍栋;齐爱谊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02F1/355 | 分类号： | G02F1/355;C23C14/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法，包括：在铁电晶体材料的+z面蒸镀透明电极；将该蒸镀有透明电极的铁电晶体材料的+z面与另一铁电晶体材料的+z面进行键合，得到复合铁电晶体；在该复合铁电晶体上下两面均蒸镀金属电极，然后对蒸镀金属电极的复合铁电晶体进行极化，得到大厚度周期极化铁电晶体材料。利用本发明，可制备出大厚度周期极化铁电晶体材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 厚度 周期 极化 电晶体 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法，其特征在于，包括：在铁电晶体材料的+z面蒸镀透明电极；将该蒸镀有透明电极的铁电晶体材料的+z面与另一铁电晶体材料的+z面进行键合，得到复合铁电晶体；在该复合铁电晶体上下两面均蒸镀金属电极，然后对蒸镀金属电极的复合铁电晶体进行极化，得到大厚度周期极化铁电晶体材料。
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