[发明专利]真空蒸发系统

摘要

本发明涉及一种真空蒸发系统，包括真空腔室、蒸发源、电磁感应圈以及托架；托架设置在真空腔室的底部，电磁感应圈设置在托架上方，与托架相对，蒸发源为多个，真空蒸发系统还包括移动支架，多个蒸发源排列放置在移动支架上，移动支架将蒸发源送至托架上方，托架将蒸发源托送至电磁感应圈中通过电磁感应加热进行蒸发，并在蒸发结束后返回初始位置，将蒸发源放回移动支架上的初始位置。移动支架在蒸发源放回到初始位置时，进行移动将下一蒸发源送至托架上方，进行下一次蒸发。本发明通过移动支架的移动来更换蒸发源，实现连续生产，大大简化了系统的结构，降低了能量消耗，大幅度的提高生产效率和可控性，保证了产品质量。

主权项

一种真空蒸发系统，包括真空腔室、蒸发源、电磁感应圈以及托架；所述托架设置在所述真空腔室的底部，所述电磁感应圈设置在所述托架上方，与所述托架相对，其特征在于，基板设置在所述真空腔室的上部，所述蒸发源为多个，所述真空蒸发系统还包括移动支架，所述多个蒸发源排列放置在所述移动支架上，所述移动支架将蒸发源送至所述托架上方，所述托架将蒸发源托送至所述电磁感应圈中通过电磁感应加热进行蒸发，并在蒸发结束后返回初始位置，将所述蒸发源放回所述移动支架上的初始位置，所述移动支架在所述蒸发源放回到初始位置时，进行移动并将下一蒸发源送至所述托架上方，进行下一次蒸发；所述真空蒸发系统还包括用于移动所述移动支架的移动装置；所述移动装置与所述移动支架相连，用于带动所述移动支架并使所述移动支架上的蒸发源准确对位到所述托架上方，以便所述托架将蒸发源托送到所述电磁感应圈中；所述蒸发源包括蒸发坩埚、阻挡板以及气流导向头；所述阻挡板为多块，与蒸发坩埚内部连接，呈迷宫状交叉设置，所述气流导向头与蒸发坩埚顶部连接，为板状，所述气流导向头中心开设有沿轴向贯通的中心孔，所述中心孔为圆柱直孔，所述中心孔外侧的圆周上设有多个贯通的外围孔，所述外围孔直径小于所述中心孔直径，所述外围孔与气流导向头顶面的夹角小于90度且顶端向所述气流导向头的外侧倾斜，以补偿从所述中心孔喷出的气流的强度在周边的不足。