[发明专利]导气电极板有效
| 申请号： | 201110406241.2 | 申请日： | 2011-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN103107057A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 翁敏航;陈威宇;吴奕达 | 申请（专利权）人： | 财团法人金属工业研究发展中心 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/505 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人： | 牟长林 |
| 地址： | 中国台湾高雄*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种导气电极板，包含：一导通材，具有一导接部；及数个微孔，贯穿该导通材，且该数个微孔于该导通材的分布符合下列关系式：0.35≧Ao/A≧0.045，其中，Ao为该数个微孔的透气面积总和，A为该导通材的面积。本发明导气电极板能够供气体均匀散布于电极间，且同时维持电极上的电位均匀性，以确保电浆生成的均匀度，达到提升沉积薄膜良率的功效。本发明导气电极板能够有效降低电浆中离子过度轰击的现象，以稳定沉积后的薄膜折曲度，而达到产出高品质薄膜的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 导气电 极板 | ||
【主权项】：
一种导气电极板，其特征在于，包含：一个导通材，具有一个导接部；及数个微孔，贯穿该导通材，且所述数个微孔于该导通材的分布符合下列关系式：0.35≧Ao/A≧0.045其中，Ao为该数个微孔的透气面积总和，A为该导通材的面积。
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