[发明专利]导气电极板

权利要求书

1.一种导气电极板，其特征在于，包含：

一个导通材，具有一个导接部；及

数个微孔，贯穿该导通材，且所述数个微孔于该导通材的分布符合下列关系式：

0.35≧A_o/A≧0.045

其中，A_o为该数个微孔的透气面积总和，A为该导通材的面积。

2.如权利要求1所述的导气电极板，其特征在于，该导通材形成一个第一表面及一个第二表面，该第一表面及第二表面皆设有一层用以抵抗腐蚀性气体的保护层，且该数个微孔贯穿所述各保护层。

3.如权利要求2所述的导气电极板，其特征在于，所述各保护层选用由氧化钇、烯土类元素的氧化物或聚酰亚胺系树脂之其一所形成的薄膜。

4.如权利要求1或2所述的导气电极板，其特征在于，各该微孔的径宽为0.5~1毫米。

5.如权利要求1或2所述的导气电极板，其特征在于，所述数个微孔皆为圆孔，且具有相同的径宽，该数个微孔的透气面积总和A_o为(R×π×ψ²)/4，其中R为该数个微孔的数量，ψ为该数个微孔的径宽。

6.如权利要求1或2所述的导气电极板，其特征在于，该导通材的长边中线为一条基准线，该数个微孔依据该基准线呈对称或非对称的分布形态。

7.如权利要求1或2所述的导气电极板，其特征在于，所述数个微孔呈辐射状、同心圆或矩阵式的分布形态。

8.如权利要求1所述的导气电极板，其特征在于，该导通材选用铝、铝合金、不锈钢、无氧铜、被覆铝、硅、石英、碳化硅、氮化硅、蓝宝石、聚酰亚胺或聚四氟乙烯之其一。

9.如权利要求1或2所述的导气电极板，其特征在于，该导接部设于该导通材的周壁，用以连接射频电流。