[发明专利]一种具有温度探测功能的掩模对准探测器、光刻装置及对准探测方法在审
| 申请号： | 201110404905.1 | 申请日： | 2011-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN103163746A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 王海江;唐文力;程鹏;李运锋;宋海军 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有温度探测功能的掩模对准探测器，包括：一光学组件，用于对入射光束进行波长转换和/或滤波后形成一出射光；一传感器单元，包括一光电传感器，用于探测出射光并转化为电信号；一温度传感器，用于探测温度并将温度信号转化为电信号；固定组件，用于固定该光学组件和传感器单元；一基准板，用于承载该光学组件、传感器单元及固定组件；一处理单元，用于处理该电信号。本发明同时公开一种使用上述掩模对准探测器的光刻装置以及对准测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 温度 探测 功能 对准 探测器 光刻 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种具有温度探测功能的掩模对准探测器，其特征在于，包括：一光学组件，用于对入射光束进行波长转换和/或滤波后形成一出射光；一传感器单元，包括一光电传感器，用于探测所述出射光并转化为电信号，一温度传感器，用于探测温度并将温度信号转化为电信号；固定组件，用于固定所述光学组件和传感器单元；一基准板，用于承载所述光学组件、传感器单元及固定组件；一处理单元，用于处理所述电信号。
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