[发明专利]一种具有温度探测功能的掩模对准探测器、光刻装置及对准探测方法

权利要求书

1.一种具有温度探测功能的掩模对准探测器，其特征在于，包括：

一光学组件，用于对入射光束进行波长转换和/或滤波后形成一出射光；

一传感器单元，包括一光电传感器，用于探测所述出射光并转化为电信号，一温度传感器，用于探测温度并将温度信号转化为电信号；

固定组件，用于固定所述光学组件和传感器单元；

一基准板，用于承载所述光学组件、传感器单元及固定组件；

一处理单元，用于处理所述电信号。

2.如权利要求1所述的掩模对准探测器，其特征在于，所述掩模对准探测器还包括一表面镀层，用以降低所述掩模对准探测器对光源热量的吸收。

3.如权利要求1所述的掩模对准探测器，其特征在于，所述温度传感器的数量大于等于一个，所述温度传感器为接触式传感器。

4.如权利要求3所述的掩模对准探测器，其特征在于，至少一个所述温度传感器与所述掩模对准探测器的中心轴位置小于4mm。

5.如权利要求1所述的掩模对准探测器，其特征在于，所述固定组件包括第一支架和第二支架。

6.如权利要求5所述的掩模对准探测器，其特征在于，所述第一支架用于固定所述光学组件，所述第一支架包括至少一探测孔，所述温度传感器放置于所述探测孔内。

7.如权利要求6所述的掩模对准探测器，其特征在于，所述温度传感器与所述第一支架之间通过导热胶接触。

8.如权利要求5所述的掩模对准探测器，其特征在于，所述第二支架用于固定所述光电传感器和所述温度传感器。

9.如权利要求1所述的掩模对准探测器，其特征在于，所述基准板由石英制成。

10.如权利要求1所述的掩模对准探测器，其特征在于，所述处理单元包括：

一电路元件，用于将所述电信号放大；

一信号采集单元，用于采集所述电信号以及温度信号为数据；

一上位机，用于接收所述数据。

11.一种光刻装置，包括：曝光光源、掩模对准标记、掩模台、工件台、投影镜头、掩模对准控制器，其特征在于：还包括一如权利要求1至10任一项所述的掩模对准探测器。

12.如权利要求11所述的光刻装置，其特征在于，所述光刻装置包括两个掩模对准探测器，所述两个掩模对准探测器呈对角线分布于所述工件台上。

13.如权利要求11所述的光刻装置，其特征在于，所述光刻装置包括四个掩模对准探测器，所述四个掩模对准探测器分布于所述工件台的四个角上。

14.一种采用如权利要求1至10任一项所述的掩模对准探测器进行对准测量的方法，其特征在于，包括：

在所述工件台上设置至少两组所述掩模对准探测器;

在进行对准测量的同时，所述温度探测器探测所述掩模对准探测器的实时温度；

当所述掩模对准探测器的温度大于设定的阈值时，于下一次对准信号采样时切换其它组对准探测器进行对准探测。

15.如权利要求14所述的对准测量的方法，其特征在于，所述步骤b进一步包括：

（b1）对所述掩模对准探测器进行温度标定；

（b2）对所述掩模对准探测器进行温度校准；

（b3）记录工况温度样本；

（b4）探测当前掩模对准探测器的温度。

16.如权利要求14所述的对准测量的方法，其特征在于，所述步骤c进一步包括：

（c1）定义每组掩模对准探测器的温度阈值；

（c2）判断当前掩模对准探测器的温度是否大于设定的阈值，若小于阈值继续工作，若大于阈值停止工作并切换其它掩模对准探测器。