[发明专利]固态成像装置及其制造方法以及电子设备

摘要

本发明提供了固态成像装置及其制造方法以及电子设备。固态成像装置包括：光电检测器，其形成在衬底上，并被配置为通过光电转换来产生信号电荷；浮动扩散部，其被配置为接收由光电检测器产生的信号电荷；晶体管单元，其至少包括将信号电荷转移到所述浮动扩散部的转移晶体管；绝缘层，其形成在衬底的表面上方；以及遮光膜，其形成在绝缘层中的将所述光电检测器的开口上方的区域除外的区域中，遮光膜对至少浮动扩散部进行遮光。

主权项

一种固态成像装置，包括：光电检测器，其形成在衬底上，并被配置为通过将入射光转换为电来产生信号电荷；浮动扩散部，其被配置为接收由所述光电检测器产生的所述信号电荷；晶体管单元，其至少包括将所述信号电荷转移到所述浮动扩散部的转移晶体管；绝缘层，其形成在所述衬底的表面以上；以及遮光膜，其形成在所述绝缘层中的将所述光电检测器的开口上方的区域除外的区域处，所述遮光膜对至少所述浮动扩散部进行遮光。