[发明专利]压电振动元件及其制造方法、压电振子及压电振荡器有效
| 申请号： | 201110393650.3 | 申请日： | 2011-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102487267A | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 山田明法 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/21;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;孙丽梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及压电振动元件及其制造方法、压电振子及压电振荡器。所述压电振动元件小型且由于过度蚀刻而导致的、自预定的频率的频率偏差较少。压电基板(10)具备：多个棒状的振动臂(15a、15b)；基部(12)，其对各个振动臂(15a、15b)的一侧端部之间进行连接；锤部(20a、20b)，其分别被形成在各个振动臂(15a、15b)的另一侧端部上且宽度宽于各个振动臂(15a、15b)；槽部(17a、17b)，其分别被形成在沿着各个振动臂(15a、15b)的振动中心线(B)的表面及背面上。而且，具备分别被形成在包括各槽部内部在内的各个振动臂的表面及背面上的激励电极(30～36)，在各个锤部(20)上形成有多条分别贯穿表面及背面且沿着各个所述振动臂的长度方向而以直线状延伸的频率调节用狭缝(25)。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动 元件 及其 制造 方法 振荡器 | ||
【主权项】：
一种压电振动元件，其特征在于，具备多个棒状的振动臂、和对各个振动臂的一侧端部之间进行连接的基部，在所述振动臂的另一侧端部侧具有多条狭缝。
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