[发明专利]压电振动元件及其制造方法、压电振子及压电振荡器

权利要求书

1.一种压电振动元件，其特征在于，

具备多个棒状的振动臂、和对各个振动臂的一侧端部之间进行连接的基部，

在所述振动臂的另一侧端部侧具有多条狭缝。

2.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，

各条所述狭缝的长度方向尺寸互为相同，且长度方向两端部的位置相一致。

3.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，

各条所述狭缝的长度方向尺寸互为相同，且长度方向两端部的位置交替错开。

4.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，

各条所述狭缝的长度方向尺寸互为相同，且宽度尺寸互不相同。

5.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，

各条所述狭缝具备多组狭缝组，所述狭缝组通过连通狭缝而将相邻的两条狭缝的长度方向一端部之间连通。

6.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，

各条所述狭缝的一端部在锤部的端部边缘处开放。

7.如权利要求1至6中任一项所述的压电振动元件，其特征在于，

各条所述狭缝被形成为，关于所述压电基板的振动中心线对称。

8.如权利要求1至6中任一项所述的压电振动元件，其特征在于，

具备被形成在所述另一侧端部上的锤部，并且在所述锤部上具备所述狭缝。

9.一种压电振动元件，其特征在于，

权利要求1至6中任一项所述的压电振动元件为振动陀螺元件。

10.一种压电振子，其特征在于，

具备权利要求1至6中任一项所述的压电振动元件、和对该压电振动元件进行收纳的封装件。

11.一种压电振荡器，其特征在于，

具备：权利要求1至6中任一项所述的压电振动元件；集成电路部件，其对该压电振动元件进行激励；封装件，其对所述压电振动元件进行气密密封且对所述集成电路部件进行收纳。

12.一种压电振动元件的制造方法，其特征在于，其为对如下的压电振动元件进行制造的方法，

所述压电振动元件具备多个棒状的振动臂、和对该各个振动臂的一侧端部之间进行连接的基部，

且所述压电振动元件具备：

槽部，其分别被形成在所述振动臂的表面及背面上；

激励电极，其被形成在所述振动臂的表面及背面上，

并且，在各个所述振动臂的另一侧端部侧形成有多条狭缝，

所述压电振动元件的制造方法包括：

通过蚀刻而形成所述压电振动元件的外形及所述狭缝的工序；

通过蚀刻而形成所述槽部的工序；

对所述激励电极进行成膜的工序。

13.一种压电振动元件的制造方法，其特征在于，

权利要求12所述的压电振动元件为振动陀螺元件。