[发明专利]涂布装置及涂布方法无效

专利信息
申请号: 201110371649.0 申请日: 2011-11-21
公开(公告)号: CN102520554A 公开(公告)日: 2012-06-27
发明(设计)人: 严茂程 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G02F1/1341 分类号: G02F1/1341;G02F1/1337;B41J2/01
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 欧阳启明
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种涂布装置,包括涂布平台、涂布吐出头以及控制所述涂布吐出头进行涂布操作的控制单元,控制单元与所述涂布吐出头连接,涂布装置还包括用于检查放置在所述涂布平台上的基板的涂布效果的图像传感器。本发明还涉及一种涂布方法,本发明的涂布装置及涂布方法通过设置图像传感器以及时发现涂布效果不良。
搜索关键词: 装置 方法
【主权项】:
一种涂布装置,包括涂布平台、涂布吐出头以及控制所述涂布吐出头进行涂布操作的控制单元,所述控制单元与所述涂布吐出头连接,其特征在于,所述涂布装置还包括用于检查放置在所述涂布平台上的基板的涂布效果的图像传感器。
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