[发明专利]一种电流传感器、阻抗匹配器以及等离子体加工设备无效
| 申请号： | 201110358825.7 | 申请日： | 2011-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN103105515A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张文雯 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电流传感器、阻抗匹配器以及等离子体加工设备，所述电流传感器包括线圈骨架、缠绕在所述线圈骨架上的线圈以及控制单元，所述线圈包括线圈输入端和线圈输出端，在所述线圈输入端和所述线圈输出端之间设有n个抽头，所述抽头将所述线圈分成n+1段匝数不同的子线圈，所述控制单元在n个所述抽头、所述线圈输入端和所述线圈输出端中任意选择两个分别作为传感器信号端或接地端(其中，n为大于0的正整数)，以选择性地将线圈上n+1段匝数不同的子线圈中任意一段或多段子线圈接入控制系统，使电流传感器能够测量多种不同功率段的电流幅值范围，从而扩大了电流传感器的检测范围，并且减小了电流传感器的体积，降低了电流传感器的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电流传感器 阻抗 配器 以及 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种电流传感器，包括线圈骨架、缠绕在所述线圈骨架上的线圈以及控制单元，所述线圈包括线圈输入端和线圈输出端，其特征在于，在所述线圈输入端和所述线圈输出端之间设有n个抽头，所述抽头将所述线圈分成n+1段匝数不同的子线圈，所述控制单元在n个所述抽头、所述线圈输入端和所述线圈输出端中任意选择两个分别作为传感器信号端或接地端，其中，n为大于0的正整数。
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