[发明专利]制备太阳能电池上的选择性发射极的方法中使用的扩散设备

摘要

本发明提供了制备一种太阳能电池上的选择性发射极的方法和一种扩散设备的方法。该方法包括蚀刻一块硅底板使其表面产生纹理，在硅底板的表面上涂覆一种混合物溶液，将一种第一热能注入到已经涂覆了混合物溶液的硅底板的整个表面上，并且在向硅底板的整个表面上注入该第一热能的同时，用一束激光束照射硅底板上的部分区域，从而向其注入一种第二热能。

主权项

一种扩散设备，其用于形成一种太阳能电池上的选择性发射极，该设备包括：一个扩散腔，其一端设有一个入口，另一端设有一个出口；一个传送器，其将表面被蚀刻有纹理，并且涂覆了一种混合物溶液的硅底板传送到扩散腔中；一个加热器，其产生一个第一热能，并在硅底板被送入扩散腔中时，将该第一热能注入到硅底板上已经涂覆有混合物溶液的整个表面上；以及一个激光发生器，其将一束激光束照射到硅底板表面上的一部分区域内或多个固定区域内，其特征在于第一热能使混合物溶液在硅底板上进行扩散，结果形成一个发射极层，而第二热能使混合物溶液在发射极层的部分区域或多个固定区域内进行进一步的扩散，结果形成一个或多个选择性发射极区，第二热能包括第一热能和激光束产生的第三热能，并且第二热能产生的温度等于第一热能和第三热能产生的温度之和。