[发明专利]控制液晶显示装置接触孔孔壁角度的制作方法无效
| 申请号： | 201110315023.8 | 申请日： | 2011-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN102364389A | 公开（公告）日： | 2012-02-29 |
| 发明（设计）人： | 吴若杉;陈孝贤 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;H01L21/768;G03F7/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种控制液晶显示装置接触孔孔壁角度的制作方法，包括以下步骤：A)在衬底上涂覆光刻胶，形成光刻胶层；B)利用具有预定图案的光硬化单体对所述光刻胶层进行曝光；C)利用显影剂对经过上述处理后的光刻胶层进行显影时间，控制显影时间、显影温度和显影剂的浓度，得到预设角度的接触孔。本发明利用包括光硬化单体的光刻胶之材料溶点特性，将接触孔孔壁的倾斜角度准确控制在45度至70度之间。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 液晶 显示装置 接触 孔孔壁 角度 制作方法 | ||
【主权项】：
一种控制液晶显示装置接触孔孔壁角度的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：A)在衬底上涂覆光刻胶，形成光刻胶层；B)利用具有预定图案的光硬化单体对所述光刻胶层进行曝光；C)利用显影剂对经过上述处理后的光刻胶层进行显影时间，控制显影时间、显影温度和显影剂的浓度，得到预设角度的接触孔孔壁。
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