[发明专利]控制液晶显示装置接触孔孔壁角度的制作方法无效
| 申请号： | 201110315023.8 | 申请日： | 2011-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN102364389A | 公开（公告）日： | 2012-02-29 |
| 发明（设计）人： | 吴若杉;陈孝贤 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;H01L21/768;G03F7/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 控制 液晶 显示装置 接触 孔孔壁 角度 制作方法 | ||
1.一种控制液晶显示装置接触孔孔壁角度的制作方法，其特征在于，包 括以下步骤：
A)在衬底上涂覆光刻胶，形成光刻胶层；
B)利用具有预定图案的光硬化单体对所述光刻胶层进行曝光；
C)利用显影剂对经过上述处理后的光刻胶层进行显影时间，控制显影 时间、显影温度和显影剂的浓度，得到预设角度的接触孔孔壁。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤C)包括：
固定显影剂的浓度和显影温度，控制显影时间以得到预设角度的接触孔 孔壁。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述显示时间为30秒到40 秒钟。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤C)包括：
固定显影时间和显影温度，控制显影剂的浓度以得到预设角度的接触孔 孔壁。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述显示剂的浓度为0.03％ 到0.05％。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤C)包括：
固定显影剂的浓度和显影时间，控制显影温度以得到预设角度的接触孔 孔壁。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述显影温度为20℃至40 ℃。
8.如权利要求1至7中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤C)之 后，还包括步骤：
D)使用UV光照射光刻胶层，硬化光硬化单体。
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