[发明专利]光波导元件无效
申请号: | 201110306639.9 | 申请日: | 2011-09-30 |
公开(公告)号: | CN102445770A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 神力孝;市冈雅之;藤野哲也 | 申请(专利权)人: | 住友大阪水泥股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/035 | 分类号: | G02F1/035;G02F1/03 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 高培培;车文 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种光波导元件,不仅在光波导元件的状态下,在制造光波导元件的工序中也能够抑制加强基板的热电效应对光波导元件造成的损伤,抑制光波导元件的电气特性的恶化,进而改善生产中的成品率。在经由粘接剂层接合了在具有电光效应且厚度为30μm以下的基板上形成了光波导的光波导基板和具有电光效应的加强基板而成的光波导元件中,在该加强基板的该粘接剂层一侧的表面上设置有半导体层。 | ||
搜索关键词: | 波导 元件 | ||
【主权项】:
一种光波导元件,经由粘接剂层接合了在具有电光效应且厚度为30μm以下的基板上形成了光波导的光波导基板和具有电光效应的加强基板而成,该光波导元件的特征在于,在该加强基板的该粘接剂层一侧的表面上设置有半导体层。
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