[发明专利]一种双层微测辐射热计及其制作方法有效
| 申请号： | 201110299176.8 | 申请日： | 2011-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102393252A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 许向东;杨卓;蒋亚东;黄龙;樊泰君;敖天宏;何琼;马春前;陈超 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 成都华典专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 徐丰;杨保刚 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种双层微测辐射热计，包括微桥结构，该微桥结构由上桥面和下桥面两个独立的桥面所组成，所述上桥面设有一层或多层光吸收材料，下桥面包含支撑与绝缘层、金属电极、热敏电阻薄膜、钝化及调控层，下桥面与衬底之间形成下层光学谐振腔，上桥面及下桥面之间形成上层光学谐振腔，其特征在于，上桥面和下桥面之间由两根连接柱相连接，且下桥面的表面设置有一层由金属构成的热量传输层。这种双层微桥一方面具有较高的光吸收率和填充因子，另一方面还具有较高的温度均匀性和力学稳定性。这种双层微测辐射热计及其制备方法能克服现有技术中存在的缺陷，提高了器件的工作性能，适宜大规模产业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 辐射热 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种双层微测辐射热计，包括微桥结构，该微桥结构由上桥面和下桥面两个独立的桥面所组成，所述上桥面设有一层或多层光吸收材料，下桥面包含支撑与绝缘层、金属电极、热敏电阻薄膜、钝化及调控层，下桥面与衬底之间形成下层光学谐振腔，上桥面及下桥面之间形成上层光学谐振腔，其特征在于，上桥面和下桥面之间由两根连接柱相连接，且下桥面的表面设置有一层由金属构成的热量传输层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110299176.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：机载激光雷达点云平面精度检测装置
- 下一篇：烧结烟气综合处理工艺
