[发明专利]用于化学机械抛光机的防溅装置和化学机械抛光机

摘要

本发明公开了一种用于化学机械抛光机的防溅装置和具有该防溅装置的化学机械抛光机。所述防溅装置包括抛光液挡板，所述抛光液挡板的本体为环形且沿周向间隔开地设有多个容纳槽；多个外套筒，每个外套筒内限定有沿竖直方向延伸且下端敞开的外套筒容纳腔；多个内套筒，每个内套筒内限定有沿竖直方向贯通的导孔；和多个驱动件，多个驱动件的驱动部分别对应地穿过多个导孔且与多个外套筒容纳腔的顶壁相连以便带动抛光液挡板和多个外套筒沿竖直方向在低位和高位之间移动，其中在所述低位所述内套筒的位于所述外套筒容纳腔内的部分的长度大于所述驱动部的行程。根据本发明实施例的防溅装置占用空间小、且可以大大地改善抛光环境。

主权项

一种用于化学机械抛光机的防溅装置，其特征在于，包括：抛光液挡板，所述抛光液挡板包括本体，所述本体为环形且沿周向间隔开地设有多个容纳槽，每个所述容纳槽沿竖直方向延伸，每个所述容纳槽的下端均敞开；多个外套筒，每个所述外套筒内限定有沿竖直方向延伸的外套筒容纳腔，每个所述外套筒容纳腔的下端均敞开，其中所述多个外套筒分别对应地设在所述多个容纳槽内且所述多个外套筒的上端分别对应地与所述多个容纳槽的上端相连；多个内套筒，每个所述内套筒内限定有沿竖直方向贯通的导孔，其中多个所述内套筒的至少一部分分别对应地设在多个所述外套筒容纳腔内；和多个驱动件，所述多个驱动件的驱动部分别对应地穿过多个所述导孔且与多个所述外套筒容纳腔的顶壁相连以便带动所述抛光液挡板和所述多个外套筒沿竖直方向在低位和高位之间移动，其中在所述低位所述内套筒的位于所述外套筒容纳腔内的部分的长度大于所述驱动部的行程。