[发明专利]用于化学机械抛光机的防溅装置和化学机械抛光机

说明书

技术领域

本发明涉及化学机械抛光领域，具体而言，涉及一种用于化学机械抛光机的防溅装置和具有该防溅装置的化学机械抛光机。

背景技术

大规模集成电路生产过程中，对晶片表面上的物质进行去除和平坦化是一道必需且使用频繁的工序。目前，化学机械抛光是最有效的全局平坦化技术。在进行化学机械抛光的过程中，由抛光头和抛光盘等运动部件旋转产生的离心力会将抛光液从抛光垫上甩出。抛光液飞溅到抛光空间的各个部位，难以完全清理。抛光液在抛光空间内结晶出颗粒，即使很微小的颗粒也会成为整个工作环境的污染源，可能会造成晶片表面的划伤，降低晶圆的成品率。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明的一个目的在于提出一种占用空间小的用于化学机械抛光机的防溅装置。

本发明的另一个目的在于提出一种具有所述防溅装置的化学机械抛光机。

根据本发明第一方面实施例的用于化学机械抛光机的防溅装置，包括抛光液挡板，所述抛光液挡板包括本体，所述本体为环形且沿周向间隔开地设有多个容纳槽，每个所述容纳槽沿竖直方向延伸，每个所述容纳槽的下端均敞开；多个外套筒，每个所述外套筒内限定有沿竖直方向延伸的外套筒容纳腔，每个所述外套筒容纳腔的下端均敞开，其中所述多个外套筒分别对应地设在所述多个容纳槽内且所述多个外套筒的上端分别对应地与所述多个容纳槽的上端相连；多个内套筒，每个所述内套筒内限定有沿竖直方向贯通的导孔，其中多个所述内套筒的至少一部分分别对应地设在多个所述外套筒容纳腔内；和多个驱动件，所述多个驱动件的驱动部分别对应地穿过多个所述导孔且与多个所述外套筒容纳腔的顶壁相连以便带动所述抛光液挡板和所述多个外套筒沿竖直方向在低位和高位之间移动，其中在所述低位所述内套筒的位于所述外套筒容纳腔内的部分的长度大于所述驱动部的行程。

根据本发明实施例的用于化学机械抛光机的防溅装置通过将所述多个驱动件设在所述工作平台的下表面上，从而可以使所述多个驱动件的驱动部沿竖直方向延伸且沿竖直方向移动，这样不仅可以大大地减小所述防溅装置所占用的体积，而且不需要在所述多个驱动件上设置防护装置以避免抛光液飞溅到所述多个驱动件的表面(所述工作平台可以防止抛光液飞溅到所述多个驱动件的表面)，进一步减小了所述防溅装置所占用的体积、降低了所述防溅装置的制造成本。所述抛光盘的周围需要安装很多具有特定功能的零部件，空间非常有限，通过设置占用空间小的所述防溅装置，可以大大地方便所述修整器、所述抛光液输送装置等部件的安装维护。

而且，所述多个驱动件的驱动部分别对应地穿过所述多个内套筒的导孔、且所述多个外套筒分别对应地套在所述多个内套筒外，由于在所述低位所述内套筒的位于所述外套筒容纳腔内的部分的长度大于所述驱动部的行程，因此在所述驱动件的驱动部带动所述抛光液挡板和所述多个外套筒沿竖直方向在所述低位和所述高位之间移动的过程中，所述内套筒和所述外套筒始终具有重合部分。这样所述内套筒和所述外套筒形成迷宫密封，从而可以避免抛光液飞溅到所述驱动件的驱动部上。

此外，所述驱动部沿竖直方向移动时不会与所述内套筒和所述外套筒产生摩擦，因此不会产生污染抛光环境的颗粒。

另外，根据本发明上述实施例的用于化学机械抛光机的防溅装置还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一个实施例，所述本体的径向截面为圆环形。这样圆环形的所述本体可以更好地与所述抛光盘配合，从而可以阻挡尽可能多的抛光液

根据本发明的一个实施例，每个所述外套筒的上端面上均设有与所述容纳槽的上端适配的凹槽，其中所述多个容纳槽的上端分别对应地设在多个所述凹槽内，所述多个外套筒的上端通过多个第一紧固件分别对应地固定在所述多个容纳槽的上端。这样可以使所述外套筒的上端更加容易地、稳固地与所述容纳槽的上端相连。

根据本发明的一个实施例，还包括多个浮动接头，每个所述浮动接头包括：基座，多个所述基座分别对应地与所述多个驱动件的驱动部相连；和球铰链，多个所述球铰链的圆球部分别对应地设在多个所述基座的上表面上，多个所述球铰链的杆部分别对应地穿过多个所述导孔且与多个所述外套筒容纳腔的顶壁相连。通过设置所述多个浮动接头，可以使所述多个驱动件的驱动部同步地带动所述抛光液挡板和所述多个外套筒沿竖直方向移动，不会发生卡死现象。