[发明专利]气体排出管及相关的方法无效
| 申请号： | 201110295551.1 | 申请日： | 2011-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN102443780A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | T·尼尔 | 申请（专利权）人： | 阿迪森真空产品公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 马江立;吴鹏 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明的实施例涉及气体排出管及相关的方法，所述气体排出管包括第一排出通道和至少一个第二排出通道，所述第一排出通道和至少一个第二排出通道设计成一方面分别连接到第一真空泵和至少一第二真空泵，另一方面连接到反应器的出口，其中所述第一排出通道和至少所述第二排出通道包括用于喷注惰性气体的第一器件和至少第二器件，所述第一器件和至少第二器件的喷注方向分别与所述真空泵的抽吸方向相反地定向。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 排出 相关 方法 | ||
【主权项】：
气体排出管，其包括第一排出通道(3)和至少一个第二排出通道(5)，所述第一排出通道和至少一个第二排出通道设计成一方面分别连接到第一真空泵(7)和至少一第二真空泵(9)，另一方面连接到反应器的出口，其中所述第一排出通道(3)和至少所述第二排出通道(5)包括用于喷注惰性气体(21)的第一器件(13；33)和至少第二器件(15；35)，所述第一器件和至少第二器件的喷注方向分别与所述真空泵(7，9)的抽吸方向相反地定向。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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