[发明专利]气体排出管及相关的方法

权利要求书

1.气体排出管，其包括第一排出通道(3)和至少一个第二排出通道(5)，所述第一排出通道和至少一个第二排出通道设计成一方面分别连接到第一真空泵(7)和至少一第二真空泵(9)，另一方面连接到反应器的出口，其中所述第一排出通道(3)和至少所述第二排出通道(5)包括用于喷注惰性气体(21)的第一器件(13；33)和至少第二器件(15；35)，所述第一器件和至少第二器件的喷注方向分别与所述真空泵(7，9)的抽吸方向相反地定向。

2.根据权利要求1所述的气体排出管，其特征在于，所述管包括安置成一方面与所述反应器的出口连通、另一方面与所述第一排出通道(3)和至少所述第二排出通道(5)连通的中央主干部(11；27)，所述第一排出通道(3)和至少所述第二排出通道(5)具有相同量级的传导性。

3.根据权利要求2所述的气体排出管，其特征在于，所述排出通道(3，5)的数量为两个，并且所述中央主干部(27)一方面包括与所述第二排出通道(5)连通的内部部分(29)，另一方面包括由一壁与所述内部部分(29)分开并与所述第一排出通道(3)连通的周边部分(31)。

4.根据权利要求3所述的气体排出管，其特征在于，所述中央主干部(27)的内部部分(29)和周边部分(31)各自的传导性具有相同的量级。

5.根据权利要求4所述的气体排出管，其特征在于，用于喷注惰性气体(21)的所述第一喷注器件(33)沿所述中央主干部(27)的内部部分(29)的轴线安设并朝着所述反应器的出口定向，而用于喷注惰性气体(21)的所述第二喷注器件(35)安设在所述中央主干部(27)的周边部分(31)的周界上并大致朝着所述中央主干部(27)的截面的中央定向。

6.用于通过根据权利要求1至5中的一项所述的排出管排出源自反应器的第一反应气体(G1)和至少一种第二反应气体(G2)的方法，所述第一反应气体(G1)和至少所述第二反应气体(G2)通过分别与第一真空泵(7)和至少一个第二真空泵(9)连接的第一排出通道(3)和至少一个第二排出通道(5)被顺次排出，其中通过大致沿与相应真空泵(7，9)的抽吸方向相反的方向喷注惰性气体(21)来控制对于反应气体(G1，G2)朝所述排出通道(3，5)之一流动的引导。

7.根据权利要求6所述的排出方法，其特征在于，在所述第一排出通道(3)和至少第二排出通道(5)中至少一者的入口处进行惰性气体(21)的喷注。

8.根据权利要求6或7所述的排出方法，其特征在于，源自所述反应器的所述第一反应气体(G1)和至少第二反应气体(G2)被顺次接纳，并且所述第一真空泵(7)和至少第二真空泵(9)分别专用于所述第一反应气体(G1)和至少第二反应气体(G2)，使得在要排出的反应气体(G2)被送至所述第二真空泵(9)时在所述第一排出通道(3)喷注惰性气体(21)，而在要排出的反应气体(G1)被送至所述第一真空泵(7)时在所述第二排出通道(5)喷注惰性气体(21)。

9.根据权利要求8所述的排出方法，其特征在于，源自所述反应器的所述第一反应气体(G1)和至少所述第二反应气体(G2)被交替地接纳到所述管中，使得在所述排出通道(3，5)喷注惰性气体(21)也交替地进行。

10.根据权利要求9所述的排出方法，其特征在于，被喷注的惰性气体(21)的量对于所述交替的两种序列来说是相同的，并且被计算为在所述真空泵处的气体混合物中获得20％的反应气体(G1，G2)的浓度，所述真空泵处的气体混合物由反应气体(G1，G2)和所喷注的惰性气体(21)构成。