[发明专利]多晶硅制造装置及利用该装置的多晶硅制造方法无效
| 申请号： | 201110294450.2 | 申请日： | 2011-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN102745693A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 丁允燮;金根镐;尹汝均;金镇成 | 申请（专利权）人： | 硅科创富有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C01B33/031 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅制造装置，包括：反应管，在内部包含硅颗粒；流动气体供应部，向上述反应管内的硅颗粒供应流动气体；气体排出部，排出在上述反应管中产生的气体；压力传感器，安装于上述气体排出部或上述流动气体供应部内；以及颗粒排出口，当上述压力传感器测量的压力大于等于基准压力值时，将在上述反应管内部形成的多晶硅排出到外部。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制造 装置 利用 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅制造装置，其特征在于，包括：反应管，在内部包含硅颗粒；流动气体供应部，向上述反应管内的硅颗粒供应流动气体；气体排出部，排出在上述反应管中产生的气体；压力传感器，安装于上述气体排出部或上述流动气体供应部内；以及颗粒排出口，当上述压力传感器测量的压力大于等于基准压力值时，将在上述反应管内部形成的多晶硅排出到外部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于硅科创富有限公司，未经硅科创富有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110294450.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
