[发明专利]干燥基板的方法和使用该方法制造图像显示装置的方法

摘要

本申请涉及干燥基板的方法和使用该方法制造图像显示装置的方法。该干燥基板的方法包括：斜向下地将第一气流(4)供给到基板上；斜向上地将第二气流5供给到基板上，同时相对地移动基板及上吹送部分和下吹送部分，以使得基板从作为基板的前面的端部区域经过上吹送部分与下吹送部分之间；控制第一气流和第二气流，以使得第二气流在与虚拟平面垂直的向上方向上的速度分量比第一气流在与虚拟平面垂直的向下方向上的速度分量小。

主权项

一种通过吹送气体来干燥基板的方法，所述基板在包括所述基板的上表面的端部区域在内的所述上表面上涂布有抗蚀剂，在抗蚀剂的表面上涂布有表面难溶层，然后被冲洗，所述方法包括以下步骤：从位于虚拟平面上方的上吹送部分斜向下地将第一气流供给到基板上以用于干燥基板，所述虚拟平面包括位于基板的厚度中心的中心平面；从位于虚拟平面下方的下吹送部分斜向上地将第二气流供给到基板上以用于干燥基板，同时相对移动基板与上吹送部分和下吹送部分，以使得基板从作为基板的前面的端部区域经过上吹送部分与下吹送部分之间；和控制第一气流和第二气流，以使得第二气流在与所述虚拟平面垂直的向上方向上的速度分量比第一气流的在与所述虚拟平面垂直的向下方向上的速度分量小。