[发明专利]干燥基板的方法和使用该方法制造图像显示装置的方法

权利要求书

1.一种通过吹送气体来干燥基板的方法，所述基板在包括所述基板的上表面的端部区域在内的所述上表面上涂布有抗蚀剂，在抗蚀剂的表面上涂布有表面难溶层，然后被冲洗，所述方法包括以下步骤：

从位于虚拟平面上方的上吹送部分斜向下地将第一气流供给到基板上以用于干燥基板，所述虚拟平面包括位于基板的厚度中心的中心平面；

从位于虚拟平面下方的下吹送部分斜向上地将第二气流供给到基板上以用于干燥基板，同时相对移动基板与上吹送部分和下吹送部分，以使得基板从作为基板的前面的端部区域经过上吹送部分与下吹送部分之间；和

控制第一气流和第二气流，以使得第二气流在与所述虚拟平面垂直的向上方向上的速度分量比第一气流的在与所述虚拟平面垂直的向下方向上的速度分量小。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，

所述上吹送部分处的第一气流的吹送流速与所述下吹送部分处的第二气流的吹送流速的比率大于1.3且小于2.0。

3.一种通过吹送气体来干燥基板的方法，所述基板在包括所述基板的上表面的端部区域在内的所述上表面上涂布有抗蚀剂，在抗蚀剂的表面上涂布有表面难溶层，然后被冲洗，所述方法包括以下步骤：

从位于虚拟平面上方的上吹送部分斜向下地将第一气流供给到基板上以用于干燥基板，所述虚拟平面包括位于基板的厚度中心的中心平面；

从位于虚拟平面下方的下吹送部分斜向上地将第二气流供给到基板上以用于干燥基板，同时相对移动基板与上吹送部分和下吹送部分，以使得基板从作为基板的前面的端部区域经过上吹送部分与下吹送部分之间；和

控制第一气流和第二气流，以使得来自定位的上吹送部分的第一气流的方向与虚拟平面之间的第一角度比来自定位的下吹送部分的第二气流的方向与虚拟平面之间的第二角度大。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，

所述第一角度为60度，所述第二角度大于40度且小于45度。

5.根据权利要求1-4中的任何一个所述的方法，其中，

供给第一气流和第二气流，以使得当基板的前面到达第一气流和第二气流结合在一起的点附近时，第一气流和第二气流的组合气流在基板的前面附近的位置处不具有在与虚拟平面垂直的向上方向上的速度分量。

6.根据权利要求1-4中的任何一个所述的方法，

第一气流的流速为135～165米/秒。

7.根据权利要求1-4中的任何一个所述的方法，其中，

上吹送部分具有供给第一气流的气刀，下吹送部分具有供给第二气流的气刀。

8.根据权利要求1-4中的任何一个所述的方法，其中，

相对移动基板与上吹送部分和下吹送部分的速度被设置为比预定速度大，以使得在基板完全经过上吹送部分与下吹送部分之间之后没有水滴余留在基板的表面上。

9.一种图像显示装置的制造方法，包括以下步骤：

按照根据权利要求1-4中的任何一个所述的方法干燥涂布有抗蚀剂的基板；

根据对基板上的抗蚀剂的蚀刻来形成布线图案；和

在布线图案上布置图像显示器件。