[发明专利]检查装置无效
| 申请号： | 201110258139.2 | 申请日： | 2011-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN102384917A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 伊藤隆;小松健一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社拓普康 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;王忠忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种对于粘贴于带的透明的检查对象物也能够通过透射照明得到正确的信息的检查装置。检查装置（10）具有：观察光学系统（11），其将观察光轴（Oa）上的规定位置设为观察面（Fp）；反射照明机构（12），其从观察光学系统侧对观察面（Fp）进行照明；以及透射照明机构（14），其从观察光学系统的相反侧对观察面（Fp）进行照明。透射照明机构（14）具有：射出部（53），其射出从光源（51）导光的透射光；以及散射部（35b），其使由射出部（53）射出的透射光散射，散射部在透射照明机构（14）的透射光轴（Pa）方向进行观察距观察面（Fp）隔开规定间隔地设置，以便使观察面（Fp）的透射光成为规定的散射状态。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种检查装置，其具备：观察光学系统，其将观察光轴上的规定位置设为观察面；反射照明机构，其从该观察光学系统侧对所述观察面进行照明；以及透射照明机构，其从所述观察光学系统的相反侧对所述观察面进行照明，所述检查装置其特征在于，所述透射照明机构具有：射出部，其射出从光源导光的透射光；以及散射部，其使由该射出部射出的透射光散射，该散射部在所述透射照明机构的透射光轴方向进行观察距所述观察面隔开规定间隔地设置，以便使所述观察面的透射光成为规定的散射状态。
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